Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices II : symposium held November 29-December 1, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A.

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書誌事項

タイトル
"Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices II : symposium held November 29-December 1, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A."
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editors, Maarten P. de Boer ... [et al.]
出版者
  • Materials Research Society
出版年月
  • c2000
書籍サイズ
24 cm
タイトル別名
  • Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices 2

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Includes bibliographical references and indexes

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000795854669184
  • NII書誌ID
    BA49023729
  • ISBN
    1558995137
  • LCCN
    00058403
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/00058403
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Warrendale, Pa.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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