書誌事項
- タイトル
- "Computational modeling in semiconductor processing"
- 責任表示
- M. Meyyappan, editor
- 出版者
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- Artech House
- 出版年月
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- c1995
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795896188416
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- NII書誌ID
- BA24671751
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- ISBN
- 0890067074
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- LCCN
- 94017563
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/94017563
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Boston
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC20: 621.3815/2/0113
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- データソース種別
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- CiNii Books