熱CVD法による成膜過程のモンテカルロシミュレーション

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Bibliographic Information

Title
"熱CVD法による成膜過程のモンテカルロシミュレーション"
Statement of Responsibility
南部健一研究代表者
Publisher
  • [南部健一]
Publication Year
  • 1990.3
Book size
26cm
Other Title
  • ネツ CVDホウ ニ ヨル セイマク カテイ ノ モンテカルロシミュレーション
  • 平成元年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書 : (研究課題番号 01550132)

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Notes

課題番号: 01550132

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795955782784
  • NII Book ID
    BB12470578
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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