Alの陽極酸化皮膜を利用する磁性体の超高アスペクト比微細加工と磁気マイクロマシン

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Bibliographic Information

Title
"Alの陽極酸化皮膜を利用する磁性体の超高アスペクト比微細加工と磁気マイクロマシン"
Statement of Responsibility
研究代表者 山崎二郎
Publisher
  • [九州工業大学]
Publication Year
  • 2002.3
Book size
30cm
Other Title
  • AI ノ ヨウキョク サンカ ヒマク オ リヨウスル ジセイタイ ノ チョウコウ アスペクトヒ ビサイ カコウ ト ジキ マイクロ マシン
  • 平成12年度〜平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

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Notes

課題番号: 12450129

研究分担者:本田崇、竹澤昌晃

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795989029376
  • NII Book ID
    BA77672661
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [北九州]
  • Data Source
    • CiNii Books
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