軸対称回転体の側表面上への光リソグラフィ技術に関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "軸対称回転体の側表面上への光リソグラフィ技術に関する研究"
- 責任表示
- 研究代表者:堀内敏行
- 出版者
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- [東京電機大学]
- 出版年月
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- 2007.6
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ジク タイショウ カイテンタイ ノ ソクヒョウメンジョウ エ ノ ヒカリ リソグラフィ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796024555264
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- NII書誌ID
- BA85208852
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [東京]
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- データソース種別
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- CiNii Books