表面光起電力効果を利用したSi表面加工変質層の高感度計測
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "表面光起電力効果を利用したSi表面加工変質層の高感度計測"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 山内和人
- Publisher
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- 大阪大学工学部
- Publication Year
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- 1996.4
- Book size
- 30 cm
- Other Title
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- ヒョウメン コウキ デンリョク コウカ ヲ リヨウ シタ Si ヒョウメン カコウ ヘンシツソウ ノ コウカンド ケイソク
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Notes
課題番号: 06650143
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796073516672
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- NII Book ID
- BB25713989
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [吹田]
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- Data Source
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- CiNii Books
