光学的MEMS評価システムの構築と問題点の改善

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書誌事項

タイトル
"光学的MEMS評価システムの構築と問題点の改善"
責任表示
新井泰彦研究代表
出版者
  • [新井泰彦]
出版年月
  • 2005.4
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • コウガクテキ MEMS ヒョウカ システム ノ コウチク ト モンダイテン ノ カイゼン

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注記

研究課題番号: 14550248

参考文献: 各章末

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000796125672704
  • NII書誌ID
    BA77103983
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [吹田]
  • 分類
  • データソース種別
    • CiNii Books
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