異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

Maruzen eBook Library 2012.11. CiNii Available at 15 libraries

Bibliographic Information

Title
"異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合"
Statement of Responsibility
益一哉, 年吉洋, 町田克之監修
Publisher
  • シーエムシー出版
Publication Year
  • 2012.11
Book size
27cm
Other Title
  • イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSI ノ ユウゴウ
  • Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications
  • High technology information
  • 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合

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参考文献あり

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