新方式ECRアンテナによるプロセス用大面積均一プラズマの生成
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書誌事項
- タイトル
- "新方式ECRアンテナによるプロセス用大面積均一プラズマの生成"
- 責任表示
- 佐藤徳芳研究代表者
- 出版者
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- [佐藤徳芳]
- 出版年月
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- 1996.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- シン ホウシキ ECR アンテナ ニ ヨル プロセスヨウ ダイメンセキ キンイツ プラズマ ノ セイセイ
- 平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書 : (課題番号05558053)
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注記
課題番号: 05558053
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796156153600
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- NII書誌ID
- BB11662223
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books