書誌事項
- タイトル
- "Predictive simulation of semiconductor processing : status and challenges"
- 責任表示
- J. Dabrowski, E.R. Weber (eds.)
- 出版者
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- Springer-Verlag
- 出版年月
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- c2004
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796172919808
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- NII書誌ID
- BA6728826X
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- ISBN
- 3540204814
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- LCCN
- 2004040690
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/2004040690
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- gw
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Berlin ; New York
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC22: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books