不揮発性メモリー用高品質STNO強誘電体膜の低温形成に関する研究

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書誌事項

タイトル
"不揮発性メモリー用高品質STNO強誘電体膜の低温形成に関する研究"
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研究代表者平山昌樹
出版者
  • 平山昌樹
出版年月
  • 2002.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • フキハツセイ メモリーヨウ コウヒンシツ STNO キョウ ユウデンタイマク ノ テイオン ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000796232467584
  • NII書誌ID
    BB06354823
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [仙台]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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