不揮発性メモリー用高品質STNO強誘電体膜の低温形成に関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "不揮発性メモリー用高品質STNO強誘電体膜の低温形成に関する研究"
- 責任表示
- 研究代表者平山昌樹
- 出版者
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- 平山昌樹
- 出版年月
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- 2002.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- フキハツセイ メモリーヨウ コウヒンシツ STNO キョウ ユウデンタイマク ノ テイオン ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796232467584
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- NII書誌ID
- BB06354823
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books