単結晶シリコンインゴットの高能率・高品位マルチ放電スライシング法

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Bibliographic Information

Title
"単結晶シリコンインゴットの高能率・高品位マルチ放電スライシング法"
Statement of Responsibility
研究代表者:宇野義幸
Publisher
  • 宇野義幸
Publication Year
  • 2005.3
Book size
30cm
Other Title
  • タンケッショウ シリコン インゴット ノ コウノウリツ・コウヒンイ マルチ ホウデン スライシングホウ

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Notes

平成14年度～平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

課題番号: 14350073

研究分担者: 岡田晃, 岡本康寛

片面印刷

参考文献: 巻末

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000796237995776
  • NII Book ID
    BA73362061
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [岡山]
  • Classification
  • Data Source
    • CiNii Books
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