電力用デバイス絶縁放熱に適した窒化アルミニウム膜生成真空アーク蒸着装置の試作

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Bibliographic Information

Title
"電力用デバイス絶縁放熱に適した窒化アルミニウム膜生成真空アーク蒸着装置の試作"
Statement of Responsibility
榊原建樹研究代表
Publisher
  • 榊原建樹
Publication Year
  • 1999.3
Book size
30cm
Other Title
  • デンリョクヨウ デバイス ゼツエン ホウネツ ニ テキシタ チッカ アルミニウム マク セイセイ シンクウ アーク ジョウチャク ソウチ ノ シサク

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Notes

課題番号: 08555075

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000796242376064
  • NII Book ID
    BA87289786
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [豊橋]
  • Data Source
    • CiNii Books
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