光集積デバイス用高精細レーザビーム描画装置の試作

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Bibliographic Information

Title
"光集積デバイス用高精細レーザビーム描画装置の試作"
Statement of Responsibility
研究代表者 春名正光
Publisher
  • 大阪大学医学部
Publication Year
  • 1995.4
Book size
30 cm
Other Title
  • ヒカリ シュウセキ デバイスヨウ コウセイサイ レーザ ビーム ビョウガ ソウチ ノ シサク

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Notes

課題番号: 05555014

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000796330825600
  • NII Book ID
    BB2515502X
  • Text Lang
    en
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [吹田]
  • Data Source
    • CiNii Books
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