Computational lithography

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書誌事項

タイトル
"Computational lithography"
責任表示
Xu Ma and Gonzalo R. Arce
出版者
  • Wiley
出版年月
  • c2010
書籍サイズ
24 cm
シリーズ名/番号
  • cloth

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注記

Includes bibliographical references (p. 217-222) and index

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