シリコン表面での拡散係数測定とシミュレーション

CiNii

Bibliographic Information

Title
"シリコン表面での拡散係数測定とシミュレーション"
Statement of Responsibility
研究代表者 渡鍋 文哉
Publisher
  • [九州大学]
Publication Year
  • 2002.3
Book size
30cm
Other Title
  • シリコン ヒョウメン デノ カクサン ケイスウ ソクテイ ト シミュレーション
  • 平成12年度〜平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(C) (2))研究成果報告書

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Notes

課題番号: 12650030

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000796407502336
  • NII Book ID
    BA58323461
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [福岡]
  • Data Source
    • CiNii Books
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