シリコン表面での拡散係数測定とシミュレーション
Bibliographic Information
- Title
- "シリコン表面での拡散係数測定とシミュレーション"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 渡鍋 文哉
- Publisher
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- [九州大学]
- Publication Year
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- 2002.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- シリコン ヒョウメン デノ カクサン ケイスウ ソクテイ ト シミュレーション
- 平成12年度〜平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(C) (2))研究成果報告書
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Notes
課題番号: 12650030
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796407502336
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- NII Book ID
- BA58323461
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [福岡]
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- Data Source
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- CiNii Books
