減圧CVD成膜における気相反応の電界制御

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Bibliographic Information

Title
"減圧CVD成膜における気相反応の電界制御"
Statement of Responsibility
研究代表者 足立元明
Publisher
  • 足立元明
Publication Year
  • 2004.5
Book size
30cm
Other Title
  • ゲンアツ CVD セイマク ニ オケル キソウ ハンノウ ノ デンカイ セイギョ

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Notes

課題番号: 13450329

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000796407537536
  • NII Book ID
    BA67753461
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [堺]
  • Data Source
    • CiNii Books
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