超LSI用純金属単結晶薄膜配線の研究

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Bibliographic Information

Title
"超LSI用純金属単結晶薄膜配線の研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 大見忠弘
Publisher
  • [大見忠弘]
Publication Year
  • 1987.3
Book size
26cm
Other Title
  • チョウLSIヨウ ジュンキンゾク タンケッショウ ハクマク ハイセン ノ ケンキュウ
  • 昭和61年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書

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Notes

課題番号: 60460117

研究代表者: 大見忠弘 (東北大学 工学部教授)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000796569077760
  • NII Book ID
    BB10943963
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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