ナノ構造光デバイス作製のためのAFM・電子ビーム結合リソグラフィ技術の開発

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Bibliographic Information

Title
"ナノ構造光デバイス作製のためのAFM・電子ビーム結合リソグラフィ技術の開発"
Statement of Responsibility
末宗幾夫研究代表
Publisher
  • [北海道大学電子科学研究所]
Publication Year
  • 2001.3
Book size
30cm
Other Title
  • ナノ コウゾウ ヒカリ デバイス サクセイ ノ タメノ AFM デンシ ビーム ケツゴウ リソグラフィ ギジュツ ノ カイハツ

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Notes

研究課題番号:10555097

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000796791805568
  • NII Book ID
    BA52177469
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [札幌]
  • Data Source
    • CiNii Books
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