イオン注入法による接合界面の組成・構造変化と接合特性に関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "イオン注入法による接合界面の組成・構造変化と接合特性に関する研究"
- 責任表示
- 研究代表者 高橋平七郎
- 出版者
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- [北海道大学エネルギー先端工学研究センター]
- 出版年月
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- 1997.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- イオン チュウニュウホウ ニヨル セツゴウ カイメン ノ ソセイ コウゾウ ヘンカ ト セツゴウ トクセイ ニカンスル ケンキュウ
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注記
課題番号: 07455251
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796852294016
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- NII書誌ID
- BB02682423
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [札幌]
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- データソース種別
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- CiNii Books