(Ti,Al)NのCVD成膜における移動現象と膜組成制御

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Bibliographic Information

Title
"(Ti,Al)NのCVD成膜における移動現象と膜組成制御"
Statement of Responsibility
菊池淳研究代表者
Publisher
  • [菊池淳]
Publication Year
  • 1999.3
Book size
30cm
Other Title
  • (TI, AL )N ノ CVDセイマク ニオケル イドウ ゲンショウ ト マク ソセイ セイギョ
  • 平成8-10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号08455343)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000796871364992
  • NII Book ID
    BB03314389
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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