(Ti,Al)NのCVD成膜における移動現象と膜組成制御
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Bibliographic Information
- Title
- "(Ti,Al)NのCVD成膜における移動現象と膜組成制御"
- Statement of Responsibility
- 菊池淳研究代表者
- Publisher
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- [菊池淳]
- Publication Year
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- 1999.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- (TI, AL )N ノ CVDセイマク ニオケル イドウ ゲンショウ ト マク ソセイ セイギョ
- 平成8-10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号08455343)
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796871364992
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- NII Book ID
- BB03314389
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [仙台]
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- Data Source
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- CiNii Books