次世代極薄高誘電率ゲート絶縁膜中の不純物の挙動に関する理論的研究
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "次世代極薄高誘電率ゲート絶縁膜中の不純物の挙動に関する理論的研究"
- Statement of Responsibility
- 白石賢二研究代表
- Publisher
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- [白石賢二]
- Publication Year
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- 2006.5
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- ジセダイ ゴクハク コウユウデンリツ ゲート ゼツエンマクチュウ ノ フジュンブツ ノ キョドウ ニ カンスル リロンテキ ケンキュウ
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Notes
研究課題番号: 16560020
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796907720192
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- NII Book ID
- BA77659812
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [つくば]
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- Data Source
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- CiNii Books