複酸化物薄膜のプラズマCBD装置シミュレーションコードの開発

CiNii

Bibliographic Information

Title
"複酸化物薄膜のプラズマCBD装置シミュレーションコードの開発"
Statement of Responsibility
研究代表者 今石宣之
Publisher
  • [今石宣之]
Publication Year
  • 2002.3
Book size
30cm
Other Title
  • フクサンカブツ ハクマク ノ プラズマ CVD ソウチ シミュレーションコード ノ カイハツ
  • 科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 : 平成11年度〜平成13年度
  • 平成11年度〜平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

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Notes

研究分担者: 佐藤恒之, 秋山泰伸

[研究課題番号]: 11255508

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797023036032
  • NII Book ID
    BA57384675
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [福岡]
  • Data Source
    • CiNii Books
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