マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる
書誌事項
- タイトル
- "マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる"
- 責任表示
- 野々垣三郎著
- 出版者
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- 丸善
- 出版年月
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- 1986.10
- 書籍サイズ
- 19cm
- タイトル別名
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- マイクロ リソグラフィー : IC LSI ワ コウシテ ツクラレル
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注記
参考書: p115-116
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797024583936
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- NII書誌ID
- BN01140871
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- ISBN
- 4621031155
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- データソース種別
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- CiNii Books