UMS技術を用いた超高周波SAWデバイス用単結晶基板表面の評価技術の開発
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Bibliographic Information
- Title
- "UMS技術を用いた超高周波SAWデバイス用単結晶基板表面の評価技術の開発"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 櫛引淳一
- Publisher
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- [櫛引淳一]
- Publication Year
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- 2003.5
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- UMS ギジュツ オ モチイタ チョウコウシュウハ SAW デバイスヨウ タンケッショウ キバン ヒョウメン ノ ヒョウカ ギジュツ ノ カイハツ
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Notes
課題番号: 12450119
平成12年度～平成14年度科学研究費補助金[基盤研究(B)(2)]研究成果報告書
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797064427776
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- NII Book ID
- BB10046031
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [仙台]
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- Data Source
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- CiNii Books