光カプラ型2色温度計による制御機構を備えたレーザ微細加工システムの開発

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Bibliographic Information

Title
"光カプラ型2色温度計による制御機構を備えたレーザ微細加工システムの開発"
Statement of Responsibility
研究代表者 上田隆司
Publisher
  • [上田隆司]
Publication Year
  • 2000.3
Book size
29cm
Other Title
  • ヒカリ カプラ-ガタ 2ショク オンドケイ ニ ヨル セイギョ キコウ ヲ ソナエタ レーザ ビサイ カコウ システム ノ カイハツ

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Notes

課題番号 : 10555246

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797100297856
  • NII Book ID
    BA52121260
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [金沢]
  • Data Source
    • CiNii Books
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