微小硬度法による多層薄膜の機械的性質の評価システムの確立

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書誌事項

タイトル
"微小硬度法による多層薄膜の機械的性質の評価システムの確立"
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研究代表者 村上敬宜
出版者
  • [九州大学]
出版年月
  • 1997.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • ビショウ コウドホウ ニヨル タソウ ウスマク ノ キカイテキ セイシツ ノ ヒョウカ システム ノ カクリツ
  • 平成7年度〜8年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書 07555351

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注記

研究分担者:林安徳ほか

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000797114658816
  • NII書誌ID
    BA67948609
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [福岡]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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