微小硬度法による多層薄膜の機械的性質の評価システムの確立
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "微小硬度法による多層薄膜の機械的性質の評価システムの確立"
- 責任表示
- 研究代表者 村上敬宜
- 出版者
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- [九州大学]
- 出版年月
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- 1997.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ビショウ コウドホウ ニヨル タソウ ウスマク ノ キカイテキ セイシツ ノ ヒョウカ システム ノ カクリツ
- 平成7年度〜8年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書 07555351
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注記
研究分担者:林安徳ほか
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797114658816
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- NII書誌ID
- BA67948609
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [福岡]
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- データソース種別
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- CiNii Books