サブナノメートルの変位,形状測定機の自律絶対校正システムの試作

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Bibliographic Information

Title
"サブナノメートルの変位,形状測定機の自律絶対校正システムの試作"
Statement of Responsibility
清野慧研究代表者
Publisher
  • [清野慧]
Publication Year
  • 1998.3
Book size
30cm
Other Title
  • サブナノメートル ノ ヘンイ,ケイジョウ ソクテイキ ノ ジリツ ゼッタイ コウセイ システム ノ シサク
  • 平成8-9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号08505002)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797116909824
  • NII Book ID
    BB02879257
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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