酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用
CiNii
Available at 1 libraries
Bibliographic Information
- Title
- "酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 内田和男
- Publisher
-
- [電気通信大学]
- Publication Year
-
- 2001.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
-
- サンカ シリコン ナノ ポーラス ハクマク ノ テイユウデンリツ ザイリョウ エノ オウヨウ
Search this Book/Journal
Notes
課題番号: 11650317
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000797243419776
-
- NII Book ID
- BB26402088
-
- Text Lang
- ja
-
- Country Code
- ja
-
- Title Language Code
- ja
-
- Place of Publication
-
- [調布]
-
- Data Source
-
- CiNii Books