酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 内田和男
- Publisher
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- [電気通信大学]
- Publication Year
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- 2001.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- サンカ シリコン ナノ ポーラス ハクマク ノ テイユウデンリツ ザイリョウ エノ オウヨウ
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Notes
課題番号: 11650317
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797243419776
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- NII Book ID
- BB26402088
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [調布]
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- Data Source
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- CiNii Books
