赤外反射分光法による半導体結晶表面の原子制御計測の開発

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書誌事項

タイトル
"赤外反射分光法による半導体結晶表面の原子制御計測の開発"
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庭野道夫研究代表者
出版者
  • [庭野道夫]
出版年月
  • 1996.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • セキガイ ハンシャ ブンコウホウ ニ ヨル ハンドウタイ ケッショウ ヒョウメン ノ ゲンシ セイギョ ケイソク ノ カイハツ
  • 平成7年度科学研究費補助金試験研究(B)(2)研究成果報告書 : (課題番号05555109)

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課題番号: 05555109

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000797249000448
  • NII書誌ID
    BB11700763
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [仙台]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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