CVD被覆材の強度特性に及ぼす薄膜内残留応力の影響

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Bibliographic Information

Title
"CVD被覆材の強度特性に及ぼす薄膜内残留応力の影響"
Statement of Responsibility
研究代表者 三好良夫
Publisher
  • 大阪大学基礎工学部
Publication Year
  • 1994.3
Book size
30 cm
Other Title
  • CVD ヒフクザイ ノ キョウド トクセイ ニ オヨボス ハクマクナイ ザンリュウ オウリョク ノ エイキョウ

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Notes

[課題番号]: 03650063

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797363829376
  • NII Book ID
    BB23817214
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [豊中]
  • Data Source
    • CiNii Books
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