MEMSによる磁性材料の高アスペクト比微細加工と磁気MEMS医用マイクロポンプ
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書誌事項
- タイトル
- "MEMSによる磁性材料の高アスペクト比微細加工と磁気MEMS医用マイクロポンプ"
- 責任表示
- 山崎二郎研究代表
- 出版者
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- [九州工業大学]
- 出版年月
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- 2007.6
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- MEMS ニヨル ジセイ ザイリョウ ノ コウアスペクトヒ ビサイ カコウ ト ジキ MEMS イヨウ マイクロポンプ
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注記
課題番号: 17360143
平成17年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書
研究分担者: 本田崇, 竹澤昌晃
参考文献: 各論末
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797398560384
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- NII書誌ID
- BB05972587
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [北九州]
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- データソース種別
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- CiNii Books