原子論的シミュレーションによる半導体超微細構造のひずみ緩和機構の研究

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Bibliographic Information

Title
"原子論的シミュレーションによる半導体超微細構造のひずみ緩和機構の研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 新谷一人
Publisher
  • [電気通信大学]
Publication Year
  • 2002.9
Book size
30cm
Other Title
  • ゲンシロンテキ シミュレーション ニヨル ハンドウタイ チョウビサイ コウゾウ ノ ヒズミ カンワ キコウ ノ ケンキュウ

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Notes

課題番号: 12650074

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797484335616
  • NII Book ID
    BB2674384X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [調布]
  • Data Source
    • CiNii Books
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