短波長フォトレジスト材料 : ULSIに向けた微細加工
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Bibliographic Information
- Title
- "短波長フォトレジスト材料 : ULSIに向けた微細加工"
- Statement of Responsibility
- 上野巧[ほか]著 ; 有機エレクトロニクス材料研究会編
- Publisher
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- ぶんしん出版
- Publication Year
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- 1988.12
- Book size
- 18cm
- Other Title
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- タンハチョウ フォト レジスト ザイリョウ : ULSI ニ ムケタ ビサイ カコウ
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797506517248
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- NII Book ID
- BN05493589
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- ISBN
- 4893900013
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
-
- 東京
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- Data Source
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- CiNii Books