ECRスパッタ法によるコバルト含有酸化鉄薄膜メディアの低温・高速作製法の研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "ECRスパッタ法によるコバルト含有酸化鉄薄膜メディアの低温・高速作製法の研究"
- 責任表示
- 山本節夫研究代表
- 出版者
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- [山口大学工学部]
- 出版年月
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- 2001.3
- 書籍サイズ
- 31cm
- タイトル別名
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- ECRスッパタホウ ニヨル コバルト ガンユウ サンカテツ ハクマク メディア ノ テイオン コウソク サクセイホウ ノ ケンキュウ
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注記
英文併記
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797542761600
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- NII書誌ID
- BA51999451
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [宇部]
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- データソース種別
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- CiNii Books
