3次元微細形状創成のための電気粘性流体援用超精密研磨法の開発に関する基礎的研究
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Bibliographic Information
- Title
- "3次元微細形状創成のための電気粘性流体援用超精密研磨法の開発に関する基礎的研究"
- Statement of Responsibility
- 厨川常元研究代表者
- Publisher
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- [厨川常元]
- Publication Year
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- 1998.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- 3ジゲン ビサイ ケイジョウ ソウセイ ノ タメ ノ デンキ ネンセイ リュウタイ エンヨウ チョウセイミツ ケンマホウ ノ カイハツ ニカンスル キソテキ ケンキュウ
- 平成8-9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号08455066)
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797579872128
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- NII Book ID
- BB03299106
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
-
- [仙台]
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- Data Source
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- CiNii Books
