a‐Si:H/a‐SiC:H超格子薄膜の構造と物性に関する研究

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書誌事項

タイトル
"a‐Si:H/a‐SiC:H超格子薄膜の構造と物性に関する研究"
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研究代表者 川辺秀昭
出版者
  • 大阪大学工学部
出版年月
  • 1991.3
書籍サイズ
26 cm
タイトル別名
  • a‐Si:H/a‐SiC:H チョウコウシ ハクマク ノ コウゾウ ト ブッセイ ニ カンスル ケンキュウ

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注記

[課題番号]: 01460223

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000797579944832
  • NII書誌ID
    BB22799106
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [吹田]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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