原料ガスのイオン化による無発塵CVB成膜装置の開発
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "原料ガスのイオン化による無発塵CVB成膜装置の開発"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者:足立元明
- Publisher
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- [大阪府立大学]
- Publication Year
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- 2000.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- ゲンリョウ ガス ノ イオンカ ニ ヨル ムハツジン CVB セイマク ソウチ ノ カイハツ
- 平成9〜11年度科学研究補助金「基盤研究(B)(1)」研究成果報告書
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Notes
課題番号: 09555240
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797613582720
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- NII Book ID
- BA4726842X
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [堺]
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- Data Source
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- CiNii Books