熱CVD装置設計のためのグローバルプロセス解析解析
書誌事項
- タイトル
- "熱CVD装置設計のためのグローバルプロセス解析解析"
- 責任表示
- 研究代表者佐藤恒之
- 出版者
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- [九州大学]
- 出版年月
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- 2000.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ネツ CVD ソウチ セッケイ ノ タメノ グローバル プロセス カイセキ
- 平成10年度-平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(研究課題番号10650749)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797647921664
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- NII書誌ID
- BA4672912X
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [福岡]
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- データソース種別
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- CiNii Books