熱CVD装置設計のためのグローバルプロセス解析解析
書誌事項
- タイトル
- "熱CVD装置設計のためのグローバルプロセス解析解析"
- 責任表示
- 研究代表者佐藤恒之
- 出版者
-
- [九州大学]
- 出版年月
-
- 2000.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
-
- ネツ CVD ソウチ セッケイ ノ タメノ グローバル プロセス カイセキ
- 平成10年度-平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(研究課題番号10650749)
この図書・雑誌をさがす
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000797647921664
-
- NII書誌ID
- BA4672912X
-
- 出版国コード
- ja
-
- タイトル言語コード
- ja
-
- 出版地
-
- [福岡]
-
- データソース種別
-
- CiNii Books
