走査型近接場光学顕微鏡による超精密加工表面の評価

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Bibliographic Information

Title
"走査型近接場光学顕微鏡による超精密加工表面の評価"
Statement of Responsibility
研究代表者 片岡俊彦
Publisher
  • 大阪大学工学部
Publication Year
  • 1994.3
Book size
30 cm
Other Title
  • ソウサガタ キンセツバ コウガク ケンビキョウ ニ ヨル チョウセイミツ カコウ ヒョウメン ノ ヒョウカ

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Notes

[課題番号]: 04452130

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797661181824
  • NII Book ID
    BB23631249
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [吹田]
  • Data Source
    • CiNii Books
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