不純物制御雰囲気スパッタ法で作製した人工格子型高感度薄膜磁気センサーの開発

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Bibliographic Information

Title
"不純物制御雰囲気スパッタ法で作製した人工格子型高感度薄膜磁気センサーの開発"
Statement of Responsibility
角田匡清研究代表者
Publisher
  • [角田匡清]
Publication Year
  • 2001.3
Book size
30cm
Other Title
  • フジュンブツ セイギョ フンイキ スパッタホウ デ サクセイシタ ジンコウ コウシガタ コウカンド ハクマク ジキ センサー ノ カイハツ
  • 平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号11555105)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797694132352
  • NII Book ID
    BB06516765
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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