ナノ・インプリント技術によるシリコン薄膜の結晶位置と方位制御の研究

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Bibliographic Information

Title
"ナノ・インプリント技術によるシリコン薄膜の結晶位置と方位制御の研究"
Statement of Responsibility
浅野種正研究代表
Publisher
  • [九州工業大学]
Publication Year
  • 2006.3
Book size
30cm
Other Title
  • ナノ・インプリント ギジュツ ニヨル シリコン ハクマク ノ ケッショウ イチ ト ホウ イセイギョ ノ ケンキュウ

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参考文献あり

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797696294912
  • NII Book ID
    BB05268985
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [北九州]
  • Data Source
    • CiNii Books
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