書誌事項
- タイトル
- "Microelectronics processing : chemical engineering aspects"
- 責任表示
- Dennis W. Hess, editor, Klavs F. Jensen, editor
- 出版者
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- American Chemical Society
- 出版年月
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- c1989
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797825605248
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- NII書誌ID
- BA07698569
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- ISBN
- 0841214751
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- LCCN
- 89006862
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/89006862
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Washington, DC
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books