フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 古屋謙治
- Publisher
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- [九州大学]
- Publication Year
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- 2007.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- フルオロカーボン プラズマ カリュウ デノ キソウ ブンシ セイチョウ ト ソノ オウヨウ
- 平成17~18年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書
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Notes
課題番号: 17540471
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797912784256
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- NII Book ID
- BA8218205X
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [福岡]
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- Data Source
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- CiNii Books