書誌事項
- タイトル
- "Semiconductor lithography : principles, practices, and materials"
- 責任表示
- Wayne M. Moreau
- 出版者
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- Plenum Press
- 出版年月
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- c1988
- 書籍サイズ
- 26 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797926901632
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- NII書誌ID
- BA03566023
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- ISBN
- 0306421852
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- LCCN
- 87029077
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/87029077
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- New York
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC19: 621.3815/2
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- 件名
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- LCSH: Semiconductors
- LCSH: Microlithography
- LCSH: Photoresists
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- データソース種別
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- CiNii Books