マイクロ波プラズマ高品質ゲート絶縁膜を用いた超高耐圧SiC電力用トランジスタ

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Bibliographic Information

Title
"マイクロ波プラズマ高品質ゲート絶縁膜を用いた超高耐圧SiC電力用トランジスタ"
Statement of Responsibility
寺本章伸研究代表
Publisher
  • [寺本章伸]
Publication Year
  • 2005.3
Book size
30cm
Other Title
  • マイクロハ プラズマ コウヒンシツ ゲート ゼツエンマク オ モチイタ チョウコウタイアツ SiC デンリョクヨウ トランジスタ
  • 平成15年度-平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号15360156)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797949819520
  • NII Book ID
    BB10651742
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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