薄膜の厚さ測定に音響信号を利用する新しい方法の研究

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Bibliographic Information

Title
"薄膜の厚さ測定に音響信号を利用する新しい方法の研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 一宮亮一
Publisher
  • [一宮亮一]
Publication Year
  • 1993.3
Book size
30cm
Other Title
  • ハクマク ノ アツサ ソクテイ ニ オンキョウ シンゴウ オ リヨウ スル アタラシイ ホウホウ ノ ケンキュウ

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Notes

課題番号: 03650098

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797978443776
  • NII Book ID
    BB07975633
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [新潟]
  • Data Source
    • CiNii Books
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