高密度プラズマPVDによる次世代超硬質薄膜合成
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書誌事項
- タイトル
- "高密度プラズマPVDによる次世代超硬質薄膜合成"
- 責任表示
- 研究代表者 三宅正司
- 出版者
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- 三宅正司
- 出版年月
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- 2001.2
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- コウミツド プラズマ PVD ニ ヨル ジ セダイ チョウコウシツ ハクマク ゴウセイ
- 平成9年度～平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書
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注記
課題番号: 09480091
研究分担者: 巻野勇喜雄, 節原裕一, 庄司多津男
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000798082724864
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- NII書誌ID
- BB10518050
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [茨木]
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- データソース種別
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- CiNii Books