SiGe混晶基板を利用した歪み制御Si系高機能電子デバイスに関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "SiGe混晶基板を利用した歪み制御Si系高機能電子デバイスに関する研究"
- 責任表示
- 宇佐美徳隆 研究代表者
- 出版者
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- [宇佐美徳隆]
- 出版年月
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- 2003.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- SIGE コンショウキバン オ リヨウシタ ヒズミ セイギョ SIケイ コウキノウ デンシ デバイス ニカンスル ケンキュウ
- 平成13年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号13555086)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000798088824192
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- NII書誌ID
- BB10413722
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books