シリコン表面の水素終端化とシリサイド形成過程の研究

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Bibliographic Information

Title
"シリコン表面の水素終端化とシリサイド形成過程の研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 上田一之
Publisher
  • 大阪大学工学部
Publication Year
  • 1994.3
Book size
1994.3
Other Title
  • シリコン ヒョウメン ノ スイソ シュウタンカ ト シリサイド ケイセイ カテイ ノ ケンキュウ

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Notes

[課題番号]: 04452093

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000798120809472
  • NII Book ID
    BB2364296X
  • Text Lang
    en
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [吹田]
  • Data Source
    • CiNii Books
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